超纯水制备中，TOC(总有机碳)的讲解至关重要，采用UV-185nm低压高能紫外技术，并结合UV-254nm紫外线杀菌器，能够通过高剂量的UV-185nm紫外光催化，在水中产生羟基自由基，对水中的有机物进行氧化降解，以降低水中的TOC含量。